PBN环

产品概述

热解氮化硼绝缘环(PBN Insulation Ring)是 CVD工艺制备的高性能陶瓷板,核心特点为高纯度(99.999%)、耐高温(2200℃稳定)、化学惰性强.且兼具抗热震、高绝缘等性能。

 

分享到

产品详情

应用:

半导体领域:用于 MBE、MOCVD、PVD 等设备中的加热腔、电极隔离及反应腔内结构件,起电绝缘与热隔离作用。

真空镀膜设备:作为蒸发源、离子源和靶材支撑的绝缘部件,防止高温下电流泄漏或短路。

晶体生长设备:用于蓝宝石、碳化硅、氮化镓等单晶生长炉中的绝缘支撑环,确保热场均匀和设备稳定运行。

高温实验设备:在热处理炉、分析仪中用作电极间隔件和加热系统绝缘结构。

工业电热系统:应用于真空炉、石墨加热器、钨钼电极结构中,提升系统绝缘性能和使用寿命。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联