PG涂层

热解石墨涂层(Pyrolytic Graphite Coating,简称 PG涂层)是一种通过 化学气相沉积法(CVD) 在基材表面沉积的高纯度石墨薄膜或致密层。它通常与 热解氮化硼(PBN)涂层 配合使用,用于高温、真空或半导体外延设备中,实现导电加热或导热功能。

特性

纯度高:表面致密,无气孔,高温下不释放任何气体,在1800℃左右能维持1.333*10-5Pa真空。

耐高温:强度随使用温度升高而增加,2750℃时强度达到最高值,3600℃升华。

抗热震性能高:弹性模量低,导热率高,热膨胀系数小。

化学稳定性好:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀。

参数

性能 单位 数值
产品纯度 / 99.999%
抗弯强度 N/mm2 127
热导率 (200℃) W/m·K 376(a)

2.0(c)

热膨胀系数 (50-800℃) T.α/(1/K) 1.26×10-6(a)
电阻率 Ω·cm 2×10-4
最高使用温度 3600

 

应用领域解决方案

半导体晶圆载具涂层:覆盖载具表面,形成致密保护层,避免载具与晶圆直接接触导致的划痕、金属离子或者颗粒污染。

半导体关键设备零部件涂层:用于 CVD 设备内衬、离子注入机腔体、高温退火炉零部件等表面涂层。

OLED蒸镀领域:用于真空蒸发镀膜装置,在高温、高真空下不会放出杂质和气体,不会影响镀膜纯度。

原子吸收测试设备:原子吸收光谱仪的热解石墨涂层石墨管,比普通石墨管的抗氧化、抗化学试剂腐蚀能力更强。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联