| 性能 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 纯度 | / | 99.999% |
| 抗弯强度 | N/mm² | 127 |
| 热导率 (200℃) | W/(m·K) | 376 (a);2.0 (c) |
| 热膨胀系数 (50 – 800℃) | K⁻¹ | 1.26×10⁻⁶ (a) |
| 电阻率 | Ω·cm | 2×10⁻⁴ |
| 最高使用温度 | ℃ | 3600 |
半导体晶圆载具涂层:覆盖载具表面,形成致密保护层,避免载具与晶圆直接接触导致的划痕、金属离子或者颗粒污染。
半导体关键设备零部件涂层:用于 CVD 设备内衬、离子注入机腔体、高温退火炉零部件等表面涂层。
OLED蒸镀领域:用于真空蒸发镀膜装置,在高温、高真空下不会放出杂质和气体,不会影响镀膜纯度。
原子吸收测试设备:原子吸收光谱仪的热解石墨涂层石墨管,比普通石墨管的抗氧化、抗化学试剂腐蚀能力更强。
山东省禹城市南环东路88号