高纯石墨加工/改性

高纯石墨加工改性属于先进材料表面处理技术,通过在高纯石墨基体表面沉积功能涂层,提升材料在高温、腐蚀及半导体环境中的综合性能。

特性

高纯低污染:采用高纯石墨基材,杂质含量低,适用于高洁净工艺环境。

优异耐高温性:在高温环境下保持稳定结构与性能,不易变形或失效。

增强抗氧化性:表面功能涂层有效降低高温氧化速率,延长使用寿命。

良好耐腐蚀性:对酸碱及工艺气体具备稳定耐受能力,适用于复杂工况。

导热性能稳定:保留石墨优异导热特性,有助于热量均匀传导与温度控制。

表面稳定性提升:涂层结构致密均匀,可减少颗粒脱落与表面污染风险。

参数

应用领域解决方案

半导体工艺设备:用于CVD / PVD / 刻蚀等设备中的石墨基结构件与高温功能部件。

晶圆外延与沉积系统:应用于MOCVD、外延生长及晶圆沉积工艺中的承载与加热部件。

高温真空炉系统:用于真空烧结炉、高温热处理炉及保护结构部件领域。

光伏与电子材料设备:适用于单晶硅、多晶硅及电子材料生产过程中的高温石墨部件。

高温防护与导热结构:用于需要耐高温、稳定导热及抗氧化保护的工业结构系统。

技术支持:海诚互联