高纯低污染:采用高纯石墨基材,杂质含量低,适用于高洁净工艺环境。
优异耐高温性:在高温环境下保持稳定结构与性能,不易变形或失效。
增强抗氧化性:表面功能涂层有效降低高温氧化速率,延长使用寿命。
良好耐腐蚀性:对酸碱及工艺气体具备稳定耐受能力,适用于复杂工况。
导热性能稳定:保留石墨优异导热特性,有助于热量均匀传导与温度控制。
表面稳定性提升:涂层结构致密均匀,可减少颗粒脱落与表面污染风险。
半导体工艺设备:用于CVD / PVD / 刻蚀等设备中的石墨基结构件与高温功能部件。
晶圆外延与沉积系统:应用于MOCVD、外延生长及晶圆沉积工艺中的承载与加热部件。
高温真空炉系统:用于真空烧结炉、高温热处理炉及保护结构部件领域。
光伏与电子材料设备:适用于单晶硅、多晶硅及电子材料生产过程中的高温石墨部件。
高温防护与导热结构:用于需要耐高温、稳定导热及抗氧化保护的工业结构系统。
山东省禹城市南环东路88号