稳定性好:采用高质量材料和精密控制电路,确保在长时间运行中蒸发速率和温度保持稳定,减少工艺波动。
均匀性好:点源设计允许精确控制蒸发角度和分布,从而实现薄膜厚度的高度均匀性,适合高要求的涂层应用。
材料利用率高:蒸发源优化了材料加热区域,减少浪费,通常材料利用率可达80%以上,降低生产成本。
兼容性强:支持多种材料蒸发,包括金属、合金和化合物,适应不同工艺需求。
| 性能 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 蒸发速率 | Å/s | 0.1–10 (可调) |
| 功率范围 | W | 100–5000 |
| 温度控制精度 | ℃ | ±1 |
| 材料兼容性 | / | Al, Ag, Mg, Yb, Cu, In, Ga 等 |
| 真空要求 | mbar | 基压≤1×10⁻⁶ |
| 寿命 | / | >1000 小时 (取决于材料和用法) |
OLED 蒸镀:为有机发光材料提供精准蒸发,形成均匀的有机功能层,保障器件发光效率与良率。
CIGS 薄膜蒸镀:实现铜铟镓硒等半导体材料的均匀沉积,制备高效太阳能电池的吸收层。
钙钛矿蒸镀:为钙钛矿光伏材料提供可控蒸发,制备高质量钙钛矿薄膜,提升电池效率与稳定性。
科研领域薄膜沉积实验:满足实验室对各类新材料的薄膜制备需求,支持纳米级厚度控制与工艺参数优化。
山东省禹城市南环东路88号