点源

点蒸发源是一种用于物理气相沉积(PVD)过程的关键设备,通过局部加热使材料从点状源蒸发,并在基片上形成薄膜。这种蒸发源以其高精度和可控性著称,广泛应用于需要精细涂层的工业领域。其设计通常基于电子束或电阻加热原理,确保蒸发过程稳定且高效。

特性

稳定性好:采用高质量材料和精密控制电路,确保在长时间运行中蒸发速率和温度保持稳定,减少工艺波动。

均匀性好:点源设计允许精确控制蒸发角度和分布,从而实现薄膜厚度的高度均匀性,适合高要求的涂层应用。

材料利用率高:蒸发源优化了材料加热区域,减少浪费,通常材料利用率可达80%以上,降低生产成本。

兼容性强:支持多种材料蒸发,包括金属、合金和化合物,适应不同工艺需求。

参数

性能 单位 数值
蒸发速率 Å/s 0.1–10 (可调)
功率范围 W 100–5000
温度控制精度 ±1
材料兼容性 / Al, Ag, Mg, Yb, Cu, In, Ga 等
真空要求 mbar 基压≤1×10⁻⁶
寿命 / >1000 小时 (取决于材料和用法)

应用领域解决方案

OLED 蒸镀:为有机发光材料提供精准蒸发,形成均匀的有机功能层,保障器件发光效率与良率。
CIGS 薄膜蒸镀:实现铜铟镓硒等半导体材料的均匀沉积,制备高效太阳能电池的吸收层。
钙钛矿蒸镀:为钙钛矿光伏材料提供可控蒸发,制备高质量钙钛矿薄膜,提升电池效率与稳定性。
科研领域薄膜沉积实验:满足实验室对各类新材料的薄膜制备需求,支持纳米级厚度控制与工艺参数优化。

产品展示

技术支持:海诚互联