TaC涂层

TaC涂层石墨是通过化学气相沉积（CVD）工艺在高纯度石墨基材表面涂上一层细小的碳化钽而制成的。其凭借超高熔点、卓越的硬度和优异的化学稳定性，成为在极端环境下保护关键部件的理想选择。

特性

涂层厚度均匀。

纯度 99.999%，涂层表面致密，耐高温。

耐酸碱腐蚀，对氢 (H₂)、氨 (NH₃)、硅烷 (SiH₄) 及硅 (Si) 均有耐受性，能在恶劣的化学环境中提供可靠保护。

耐受等离子体蚀刻化学品（例如，氯、溴），掺杂剂（例如，硼、磷、砷）和腐蚀性清洁剂。

抗热震性好，涂层结合力强。

PVT 法碳化硅单晶生长关键组件、GaN 晶圆托、导流圆环、MOCVD 外延盘碳化钽（TaC）加热器。

致力于成为

CVD及其相关技术的引领者

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