CVD复合陶瓷

通过化学气相沉积法(CVD,Chemical Vapor Deposition)制备的多种陶瓷复合材料制品。这类制品具有高纯度、致密性好、耐高温、耐腐蚀等特性,常用于极端环境下。

特性

高纯度与致密性:纯度高达99.999%以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至1×10-10cm³/s 。

耐高温与热性能: 耐高温达2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a方向200℃时60W/m·K,c方向仅2.60W/m·K)。

化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。

电学与特殊性能:高电阻率(2.4×1015Ω·cm)、高介电强度(室温56 KV/mm)、低介电常数和介质损耗角正切,并具有良好的透微波和红外线性能 。

各向异性与机械性能:在力学、热学、电学性能上呈现显著各向异性;抗张强度102N/mm²,抗弯强度243N/mm²。

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 1.95~2.20
抗张强度 N/mm² 102
抗弯强度 N/mm² 243
抗压强度 N/mm² 244
热导率 (200℃) W/(m·K) 60 (a) / 2.60 (c)
热膨胀系数 (200℃) K⁻¹ 2.0×10⁻⁶ (a)
介电常数 (室温) / 5.81
电阻率 Ω·cm 2.4×10¹⁵

 

应用领域解决方案

应用于MBE、MOCVD、PECVD 等设备的加热器

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联