高纯度与致密性:纯度高达99.999%以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至1×10-10cm³/s 。
耐高温与热性能: 耐高温达2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a方向200℃时60W/m·K,c方向仅2.60W/m·K)。
化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。
电学与特殊性能:高电阻率(2.4×1015Ω·cm)、高介电强度(室温56 KV/mm)、低介电常数和介质损耗角正切,并具有良好的透微波和红外线性能 。
各向异性与机械性能:在力学、热学、电学性能上呈现显著各向异性;抗张强度102N/mm²,抗弯强度243N/mm²。
| 性能 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 1.95~2.20 |
| 抗张强度 | N/mm² | 102 |
| 抗弯强度 | N/mm² | 243 |
| 抗压强度 | N/mm² | 244 |
| 热导率 (200℃) | W/(m·K) | 60 (a) / 2.60 (c) |
| 热膨胀系数 (200℃) | K⁻¹ | 2.0×10⁻⁶ (a) |
| 介电常数 (室温) | / | 5.81 |
| 电阻率 | Ω·cm | 2.4×10¹⁵ |
应用于MBE、MOCVD、PECVD 等设备的加热器
山东省禹城市南环东路88号