CVD陶瓷基于Chemical Vapor Deposition工艺制备，属于高纯特种陶瓷材料。在高温真空环境中，气态前驱体发生化学反应，材料从气相中逐步析出，并在基体表面层层沉积生长，冷却后即可得到高纯、高致密的CVD陶瓷材料。
粉体陶瓷属于传统热压烧结类特种陶瓷，以高纯陶瓷粉体为原料，经成型、高温烧结工艺制备成型。
高纯石墨加工改性属于先进材料表面处理技术，通过在高纯石墨基体表面沉积功能涂层，提升材料在高温、腐蚀及半导体环境中的综合性能。
半导体工艺系统中的核心功能部件，主要用于晶圆加工、真空沉积与精密温控等关键工艺环节。
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