BN-氮化硼

氮化硼被称为“白色石墨”,有两种主要形态:六方氮化硼(h-BN)质地柔软润滑,常用于高温润滑剂;立方氮化硼(c-BN)硬度仅次于钻石,是超硬切削材料。

特性

高温润滑性(h-BN)

极高的热稳定性与耐热震性

优良的电绝缘性

化学惰性,不与被大多数熔融金属润湿

高硬度(c-BN)

可加工性(h-BN)

参数

性能 单位 六方氮化硼 (h-BN) 立方氮化硼 (c-BN)
晶体结构 六方层状结构 立方结构 (闪锌矿型)
密度 g/cm³ 2.27 3.48
莫氏硬度 2 (润滑) 仅次于钻石
抗弯强度 (h-BN 陶瓷) MPa 50 – 100
熔点 / 分解点 在 N₂中 >3000℃ 分解 >3000℃
最高使用温度 (空气) 900 – 1000 (氧化限) ~1200
热导率 (20℃) W/(m·K) 15 – 30 (⊥c), 高达 60 (∥c) 13 – 20
热膨胀系数 K⁻¹ 0.4×10⁻⁶ – 7.5×10⁻⁶ (各向异性) 2.1×10⁻⁶ – 4.9×10⁻⁶
体积电阻率 (20℃) Ω·cm >10¹⁴ >10¹⁴
介电强度 kV/mm 30 – 40
介电常数 (1MHz) 3.5 – 5.3 (各向异性) 4.5 – 7.1

应用领域解决方案

外延设备关键配件、晶圆承载部件防护,同时可作为半导体制造过程中的高温绝缘部件、散热基板、等离子体蚀刻工艺防护件。
致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联