热解氮化硼板(PBN Plate)是 CVD工艺制备的高性能陶瓷板,核心特点为高纯度(99.999%)、耐高温(2200℃稳定)、化学惰性强,且兼具抗热震、高绝缘等性能。
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应用:
半导体领域:作为 MOCVD 设备绝缘板、MBE 工艺组件,支撑 GaN、SiC 等半导体单晶生长;也可作芯片散热基板,匹配 Si 芯片热膨胀系数以减少热应力开裂。
光伏领域:用作光伏材料加工的高温窑炉组件,依托耐高温、化学稳定特性,为光伏材料制备提供稳定环境。
高端工业领域:充当真空炉的隔热材料与加热元件支架,在高温工况下实现隔热与承载功能。
山东省禹城市南环东路88号