热解氮化硼舟(PBN Boat)专为高温环境下的物料承载、热处理及蒸发等工艺设计的容器,在真空或惰性气氛中能长期稳定使用,与绝大多数物质不发生化学反应,可有效避免污染。
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应用:
高温承载保护:半导体/电子高温工艺中,承载物料,耐高温且防反应污染。
半导体薄膜制备:适配 PVD、MBE 等工艺,盛装 Ga、As 等原料,控温蒸发以保障薄膜成分均匀。
高温实验合成:实验室高温反应/烧结中,提供洁净稳定环境,不干扰物料分析与合成。
电子元件加工:芯片封装、传感器热处理时,定位微型元件并绝缘防短路,保障精度。
山东省禹城市南环东路88号