产品特性
热导率高、温度均匀性好、温度控制精度高
产品参数
应用领域解决方案
应用于CVD设备、ALD设备、PVD设备、刻蚀设备、离子注入机、Probe Station
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金属加热器为晶圆加工提供稳定、均匀的温度环境，确保工艺精度和良率。是刻蚀、沉积、光刻、封装等关键工艺的 “温度指挥官”，直接影响芯片性能和生产效率。
山东省禹城市南环东路88号
