PBN/PG复合加热板(PBN/PG Composite Heating Plate)是在化学气相沉积技术的基础上,以热解氮化硼 (PBN) 为绝缘体,热解石墨 (PG) 为导电发热体,利用热解氮化硼和热解石墨的特性延伸开发的新型加热器。
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OLED 蒸镀:OLED 面板生产基底加热,均匀控温保护有机发光材料。
薄膜太阳能:CIGS 电池制程基底预热与温控,改善结晶、提升光电转换率。
MBE 分子束外延:超高真空下衬底加温,实现半导体薄膜外延生长。
晶圆热处理:半导体 CVD/ALD 等设备晶圆承载加热,精准控温完成镀膜与热处理。
山东省禹城市南环东路88号