静电吸盘 (Electrostatic Chuck) 基于静电吸附原理，由电极层、绝缘层、基板及温控气路模块组成，通过加电压形成静电场固定物料，具有无接触、吸附均匀、兼容真空高低温环境且可集成温控的特点，是高端制造中替代机械夹具的核心组件。
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应用：
半导体制造：固定晶圆，适配光刻、蚀刻等工艺，提升器件良率。
显示面板生产：固定基板，保护膜层，确保 OLED、Micro-LED 工艺精度。
光伏制造：固定硅片/薄膜基板，适配镀膜、切割等工艺。
精密电子加工：定位微型芯片/陶瓷基板，助力高精度组装。
科研/特种加工：固定微小样品或特殊工件，适配表征实验、激光加工等场景。
山东省禹城市南环东路88号
