热解氮化硼涂层加热线圈 (PBN Coated Heating Coil) 以石墨为基体，表面涂覆热解氮化硼涂层。石墨提供高效导电导热性，实现快速发热；热解氮化硼涂层则凭借高纯度、化学惰性、耐高温、绝缘性等特点，保护石墨基体免受腐蚀磨损，防止高温杂质释放，保障加热稳定可靠。
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应用：
半导体制造：在光刻、退火等工艺中精准控温，保障工艺一致性，提升芯片性能良率。
材料制备：为高温合成、晶体生长提供无污染高温环境，保证材料纯度质量。
科研实验：满足高温物理实验、材料性能测试对高精度高稳定性加热的需求。
真空镀膜：在真空环境下均匀加热镀膜材料，提升镀膜质量性能。
山东省禹城市南环东路88号
