氧化铝定制件

产品概述

氧化铝定制件以氧化铝(Al₂O₃)为主要原料,经特定工艺制成,可依不同需求定制。其具备高硬度、良好化学稳定性、低热膨胀系数、良好机械性能、高绝缘性、抗电击穿、耐高温、耐磨、高强度等特性。

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产品详情

半导体设备绝缘件:用作刻蚀、沉积设备的绝缘环、支撑件,实现高压工艺下的可靠绝缘与防打火。

高温炉管结构件:作为扩散炉、氧化炉的炉管支撑座与热电偶保护管,在 1000℃+ 环境中稳定工作。

晶圆承载与定位件:定制氧化铝环 / 盘作为晶圆夹具,在光刻、清洗工序中提供高精度定位与低划伤风险。

粉体煅烧工装件:定制舟皿、托盘,用于高纯半导体粉体的高温煅烧与烧结,避免杂质污染。

等离子工艺耐腐蚀件:在刻蚀设备中抵御等离子体侵蚀,减少颗粒产生,保障工艺洁净度。

测试工装定位件:作为半导体测试设备的定位块、探针台配件,提供稳定支撑与绝缘保护。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联