半导体粉体 / 前驱体材料烧结容器: 用于高纯陶瓷粉体(如 AlN、SiC)、金属氧化物前驱体的高温煅烧、烧结。高纯度氧化铝坩埚杂质含量极低,不会污染粉体,同时能承受 1600℃以内的烧结温度。
实验室级半导体工艺测试: 用于热重分析(TGA)、差热分析(DTA)、马弗炉等设备中,对晶圆材料、光刻胶灰化、金属浆料进行高温测试与处理。化学惰性强,不与大多数半导体材料反应。
低熔点半导体金属熔炼: 可熔炼铝(Al)、镓(Ga)、铟(In)等低熔点金属,作为半导体键合丝、焊料的熔炼容器。
外延 / 沉积工艺的辅助部件: MOCVD、PECVD 设备中的小型载具或衬底支撑件,用于非腐蚀性气氛下的低温辅助工艺,替代成本更高的石英或氮化硼部件。