碳化钽涂层加热线圈

产品概述

碳化钽涂层石墨加热线圈 (TaC Coated Graphite Heating Coil) 以石墨为基体,通过化学气相沉积(CVD)工艺,在表面形成碳化钽(TaC)涂层的加热元件。既保留石墨基体优异的导电性与导热性,又依托 TaC 涂层实现超高耐高温性强化学惰性高硬度耐磨性及良好抗热冲击性。

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产品详情

化合物半导体单晶生长(如 SiC、GaN): 作为 PVT 法、VGF 法长晶炉的核心加热元件,在 2000℃以上的超高温环境中提供稳定热源。

高温外延与 MOCVD 设备: 用于 LED 和功率半导体外延炉的加热模块,在 1000–1600℃的工艺中提供均匀、稳定的温度场。

特种材料烧结与真空热处理: 用于陶瓷、硬质合金、难熔金属的真空 / 惰性气氛烧结炉中,作为高温加热源,实现无氧化、无杂质污染的热处理过程。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联