碳化钽涂层加热线圈

产品概述

碳化钽涂层石墨加热线圈 (TaC Coated Graphite Heating Coil) 以石墨为基体,通过化学气相沉积(CVD)工艺,在表面形成碳化钽(TaC)涂层的加热元件。既保留石墨基体优异的导电性与导热性,又依托 TaC 涂层实现超高耐高温性强化学惰性高硬度耐磨性及良好抗热冲击性。

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产品详情

应用:

半导体晶体生长:作为碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)等半导体晶体生长的加热元件,提供稳定高温环境,保障晶体纯度与生长质量。

高温材料处理:用于陶瓷烧结、金属热处理工艺,稳定供热且不污染被处理材料,确保材料性能。

科研实验:适配高温炉、真空炉等科研设备,作为加热部件满足复杂实验对高温环境的严苛需求。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联