TaC-CVD碳化钽

碳化钽(TaC)是一种由钽(Ta)和碳(C)组成的陶瓷化合物,呈灰黑色结晶粉末或固体。它以 极高的熔点(约 3880–4000℃) 闻名,是已知熔点最高的化合物之一,同时具有优异的硬度和化学稳定性。

特性

出色的抗热冲击阻力

出色的抗物理冲击阻力

出色的耐化学性

超高纯度

可加工成各种复杂的形状

在氧化环境下仍然可以使用

较长的寿命

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 14.3
熔点 3880
晶格常数 nm 0.4454
硬度 HK 2000
热导率 W/(m·K) 22-25(25℃)
W/(m·K) 15-18(100℃)
热膨胀系数 K 6.29×10-6
弹性模量 GPa 291
电阻率 Ω·cm 1×10-5

应用领域解决方案

单晶SiC生长组件

MOCVD组件

高温元件

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联