BN-氮化硼

本产品采用高纯度氮化硼制成,在高温、真空及惰性气氛下性能稳定,化学稳定性好,易于精密加工,可定制各种复杂结构。

特性

优异的耐高温性能(真空及惰性气氛下使用温度≥2000℃)

热导率高、热膨胀系数低

优异的抗热震性

高温下优异的电绝缘性

对熔融金属有良好的耐蚀性

易于机械加工,可定制不同形状和尺寸

参数

性能 单位 六方氮化硼 (h-BN) 立方氮化硼 (c-BN)
晶体结构 六方层状结构 立方结构 (闪锌矿型)
密度 g/cm³ 2.27 3.48
莫氏硬度 2 (润滑) 仅次于钻石
抗弯强度 (h-BN 陶瓷) MPa 50 – 100
熔点 / 分解点 在 N₂中 >3000℃ 分解 >3000℃
最高使用温度 (空气) 900 – 1000 (氧化限) ~1200
热导率 (20℃) W/(m·K) 15 – 30 (⊥c), 高达 60 (∥c) 13 – 20
热膨胀系数 K⁻¹ 0.4×10⁻⁶ – 7.5×10⁻⁶ (各向异性) 2.1×10⁻⁶ – 4.9×10⁻⁶
体积电阻率 (20℃) Ω·cm >10¹⁴ >10¹⁴
介电强度 kV/mm 30 – 40
介电常数 (1MHz) 3.5 – 5.3 (各向异性) 4.5 – 7.1

应用领域解决方案

广泛应用于半导体单晶炉、退火炉、扩散炉、MOCVD 设备、功率电子散热、蓝宝石长晶等高端制造领域,是半导体热场、绝缘、隔热、支撑部件的理想材料。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联