CVD复合陶瓷

通过化学气相沉积法制备的 PBN/PG 陶瓷复合加热器。

特性

高纯度(≥99.999%)

PBN、PG 化学稳定性优异,耐酸碱腐蚀

发热均匀

可加工为复杂几何形状

可快速升温至 1700℃(惰性气氛或真空环境下)

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 1.95~2.20
抗张强度 N/mm² 102
抗弯强度 N/mm² 243
抗压强度 N/mm² 244
热导率 (200℃) W/(m·K) 60 (a) / 2.60 (c)
热膨胀系数 (200℃) K⁻¹ 2.0×10⁻⁶ (a)
介电常数 (室温) / 5.81
电阻率 Ω·cm 2.4×10¹⁵

 

应用领域解决方案

应用于MBE、MOCVD、PECVD 等设备的加热器。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联