集加热与吸附性能一体
纯度高达5N，杂质挥发量少
使用温度高，可达800℃或更高
可耐受更高电压
| 性能 | 单位 | 热解氮化硼 | 氧化铝 | 氮化铝 |
|---|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 2.1 | 3.8 | 3.2 |
| 纯度 | % | 99.999 | 99.8 | 98 |
| 弯曲强度 | MPa | 244 | 350 | 400 |
| 热导率 | W/(m·K) | 82 (a 向), 2.4 (c 向) | 20 | 170 |
| 热膨胀系数 | ×10⁻⁶ K⁻¹ | 2.4 (a 向), 27 (c 向) | 6.9 | 4.6 |
| 体积电阻率 | Ω·cm | 3.6×10¹⁶ | 1×10¹⁴ | 1.5×10¹³ |
| 击穿强度 | kV/mm | 200 | 25 | 20 |
在刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工序中，集加热与吸附于一体的CVD静电吸盘能精准匹配高端制造对“稳定固定+精准温控”的双重核心需求。
山东省禹城市南环东路88号
