均匀性好:线性设计提供一致的蒸发分布,确保薄膜在大面积基片上厚度均匀,减少边缘效应。
稳定性高:采用 robust 的加热元件和控制系统,在连续运行中保持稳定的蒸发性能,适合大批量生产。
材料利用率高:优化后的线状结构减少材料残留,利用率通常超过85%,经济环保。
操作简便:设计易于安装和维护,降低 downtime,提高生产效率。
| 性能 | 单位 | 数值 |
| 蒸发速率 | Å/s | 1–20(可调) |
| 功率范围 | W | 500–10000 |
| 温度范围 | °C | 200–600 |
| 线长/尺寸 | mm | 标准100–500(可定制) |
| 电流需求 | A | 10–100(AC/DC) |
| 材料兼容性 | / | OLED有机材料蒸镀 |
| 真空要求 | mbar | 基压≤5×10⁻⁵ |
| 寿命 | / | >2000小时(取决材料和用法) |
线源蒸发源主要用于大面积涂层应用,如OLED蒸镀以及科研领域的薄膜沉积实验。其高效率和大面积覆盖能力使其成为工业生产的理想选择,支持高速卷对卷工艺和批量涂层。
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