热解氮化硼涂层是一种通过化学气相沉积法在基材表面形成的高纯氮化硼薄膜或致密涂层。它通常用在高温、高真空或半导体外延生长设备中，用以提升材料的耐高温性、耐腐蚀性和电绝缘性。