PBN坩埚

特性

高纯度与致密性:纯度高达 99.999% 以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至 1×10⁻¹⁰cm³/s。

耐高温与热性能:耐高温达 2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a 方向 200℃时 60W/m・K,c 方向仅 2.60W/m・K)。
化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 1.95~2.20
抗张强度 N/mm² 102
抗弯强度 N/mm² 243
抗压强度 N/mm² 244
热导率 (200℃) W/(m·K) 60 (a) / 2.60 (c)
热膨胀系数 (200℃) K⁻¹ 2.0×10⁻⁶ (a)
介电常数 (室温) / 5.81
电阻率 Ω·cm 2.4×10¹⁵

 

应用领域解决方案

半导体单晶生长:用于 VGF(垂直梯度凝固)、LEC(液封直拉)法生长 GaAs(砷化镓)、InP(磷化铟)等 III-V 族化合物单晶。PBN 坩埚的高纯度和抗高温变形特性保证了晶体的低缺陷和高纯度。
分子束外延(MBE):作为 MBE 坩埚,用于蒸发铝(Al)、镓(Ga)等材料,制备超晶格、量子阱等高端外延片。其高纯度和不润湿性确保了薄膜材料的精确化学计量和高质量。
OLED 蒸镀与微电子:用于 OLED 蒸发源单元,耐高温、放气率极低,可实现均匀蒸镀,延长设备寿命并提升显示器件性能。
高温金属处理与冶金:用于熔融金属转移、特种冶金坩埚。其抗热震和耐腐蚀特性适合处理活性金属及合金。
致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联