PBN-热解氮化硼

热解氮化硼属于特种陶瓷材料,热解氮化硼的沉积过程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片平行地落在基体材料上,达到一定厚度后冷却脱模而成。

特性

高纯度与致密性:纯度高达 99.999% 以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至 1×10⁻¹⁰cm³/s。
耐高温与热性能:耐高温达 2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a 方向 200℃时 60W/m・K,c 方向仅 2.60W/m・K)。
化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。
电学与特殊性能:高电阻率(2.4×10¹⁵Ω・cm)、高介电强度(室温 56 KV/mm)、低介电常数和介质损耗角正切,并具有良好的透微波和红外线性能。
各向异性与机械性能:在力学、热学、电学性能上呈现显著各向异性;抗张强度 102N/mm²,抗弯强度 243N/mm²。

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 1.95~2.20
抗张强度 N/mm² 102
抗弯强度 N/mm² 243
抗压强度 N/mm² 244
热导率 (200℃) W/(m·K) 60 (a) / 2.60 (c)
热膨胀系数 (200℃) K⁻¹ 2.0×10⁻⁶ (a)
介电常数 (室温) / 5.81
电阻率 Ω·cm 2.4×10¹⁵

 

应用领域解决方案

半导体晶体生长:作为 GaAs、InP、GaP 等 III-V 族化合物半导体单晶生长的 LEC、VGF、VB、MBE 法坩埚,因其高纯度和化学惰性,避免熔体污染。

OLED 蒸发源:用于 OLED 生产的蒸发坩埚及支撑架,提供高绝缘性、高温稳定性且不释放气体。

高温防护涂层:为石墨加热器、石墨坩埚等提供 PBN 涂层,防止高温挥发和污染。

特种冶金与熔炼:作为高纯度金属蒸发镀膜、熔炼用的坩埚,耐受多种熔融金属且不反应。

电子器件与窗口:用于行波管 (TWT) 支撑杆、MOCVD 绝缘板、红外 / 微波透射窗口,利用其绝缘性、透波性和高温稳定性。

航空航天与真空设备:作为高温真空炉绝缘部件、高温绝缘流体喷嘴等,满足极端环境下的隔热、绝缘和结构稳定性要求。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联