纯度高：表面致密、无气孔，高温下无杂质析出，在 1800℃左右可维持 1.333×10⁻⁵ Pa 真空。
耐高温：强度随使用温度升高而提升，2750℃时强度达到峰值，3600℃时升华。
抗热震性优异：弹性模量低、热导率高、热膨胀系数小。
化学稳定性优异：耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀。
| 性能 |
单位 |
数值 |
| 纯度 |
/ |
99.999% |
| 抗弯强度 |
N/mm² |
127 |
| 热导率 (200℃) |
W/(m·K) |
376 (a)；2.0 (c) |
| 热膨胀系数 (50 – 800℃) |
K⁻¹ |
1.26×10⁻⁶ (a) |
| 电阻率 |
Ω·cm |
2×10⁻⁴ |
| 最高使用温度 |
℃ |
3600 |
半导体晶圆载具涂层: 覆盖载具表面，形成致密保护层，避免载具与晶圆直接接触导致的划痕、金属离子或者颗粒污染。
半导体关键设备零部件涂层: 用于 CVD 设备内衬、离子注入机腔体、高温退火炉零部件等表面涂层。
OLED 蒸镀领域: 用于真空蒸发镀膜装置，在高温、高真空下不会放出杂质和气体，不会影响镀膜纯度。
原子吸收测试设备: 原子吸收光谱仪的热解石墨涂层石墨管，比普通石墨管的抗氧化、抗化学试剂腐蚀能力更强。
