热解石墨工艺管(PG Process Tube)以高纯石墨或陶瓷为基体，表面经 CVD 形成致密热解石墨涂层，是管状功能部件。核心特性为高导热均匀性、耐高温、低化学活性，兼具低气体渗透率与光滑表面，能减少物料粘连和杂质污染，适配真空、惰性气氛等苛刻工况，结构强度高，可长期稳定用于连续化高温工艺。
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应用：
半导体制造：作为反应管载体，均匀导热保硅片温度一致，低污染保障半导体掺杂精度。
材料合成：用于碳材料碳化、陶瓷烧结，提供稳定高温环境，低气渗性防气氛干扰。
晶体生长辅助：作为物料输送保护套管，耐高温且表面光滑，减少晶体杂质附着。
科研实验：作为反应容器样品保护管，适配极端温度与气氛，确保实验数据准确。
山东省禹城市南环东路88号
