热解石墨涂层石墨杆 (PG Coated Graphite Rod) 以高纯石墨为基底，表面经 CVD 形成致密热解石墨涂层的管状部件。保留石墨高强度、耐高温性，兼具高导热均匀性、低化学活性、低气体渗透率，光滑涂层减少物料粘连与杂质释放，适配 1500-2000℃高温及真空惰性气氛工况，可长期稳定用于高精度高温工艺。
分享到
应用：
半导体工艺：在硅片高温退火、薄膜沉积前预处理中，作为反应管或载气通道，均匀导热保障工艺温度稳定，低污染特性避免影响半导体器件性能。
材料提纯：用于高纯金属或化合物的高温气相提纯，低气体渗透率隔绝外部杂质，涂层惰性防止物料与管壁反应。
科研实验：在材料高温热解、气相反应测试中，作为反应容器或样品保护管，适配严苛温度与气氛要求，确保实验数据准确性。
山东省禹城市南环东路88号
