PBN PG垂直加热器

产品概述

PBN/PG 垂直复合加热器(PBN/PG Vertical Composite Heater)是为高精度、高纯度高温加热场景设计的设备,采用PBN-PG-PBN 三明治式垂直复合结构,该加热器结合 PG 高效发热与 PBN 稳定防护特性,具有高温度均匀性、低放气量等优势。

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产品详情

应用:

半导体制造:在 MBE、MOCVD 等制程中,精准加热半导体衬底,保障温度均匀,助力薄膜生长、材料掺杂,提升器件性能与良率。

超导体与先进材料制备:为超导体衬底高温预处理、新型功能薄膜沉积提供高纯度加热,避免杂质污染影响材料性能。

精密分析与科研实验:在电子显微镜原位加热测试、高温材料性能表征中,作为微型高精度加热源,满足实验对温度精度与环境纯度的严苛要求。

高纯金属与有机材料处理:用于 OLED 有机材料真空蒸发前加热预处理、高纯金属低温退火,依托 PBN 化学惰性防止材料污染,保障产品纯度。

特种电子器件生产:在高频微波器件、红外探测器件芯片封装前加热固化环节,提供低干扰、高精度局部加热,避免高温损伤器件敏感结构,确保电气性能稳定。

致力于成为
CVD及其相关技术的引领者
技术支持:海诚互联