应用:
半导体制造:在 MBE、MOCVD 等制程中,精准加热半导体衬底,保障温度均匀,助力薄膜生长、材料掺杂,提升器件性能与良率。
超导体与先进材料制备:为超导体衬底高温预处理、新型功能薄膜沉积提供高纯度加热,避免杂质污染影响材料性能。
精密分析与科研实验:在电子显微镜原位加热测试、高温材料性能表征中,作为微型高精度加热源,满足实验对温度精度与环境纯度的严苛要求。
高纯金属与有机材料处理:用于 OLED 有机材料真空蒸发前加热预处理、高纯金属低温退火,依托 PBN 化学惰性防止材料污染,保障产品纯度。
特种电子器件生产:在高频微波器件、红外探测器件芯片封装前加热固化环节,提供低干扰、高精度局部加热,避免高温损伤器件敏感结构,确保电气性能稳定。
山东省禹城市南环东路88号