纯度 99.999%，涂层表面致密，耐高温。
耐酸碱腐蚀，对氢 (H₂)、氨 (NH₃)、硅烷 (SiH₄) 及硅 (Si) 均有耐受性，能在恶劣的化学环境中提供可靠保护。
耐受等离子体蚀刻化学品（例如，氯、溴），掺杂剂（例如，硼、磷、砷）和腐蚀性清洁剂。
抗热震性好，涂层结合力强。
| 性能 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 14.3 |
| 熔点 | ℃ | 3880 |
| 晶格常数 | nm | 0.4454 |
| 硬度 | HK | 2000 |
| 热导率 (25℃) | W/(m·K) | 22–25 |
| 热导率 (100℃) | W/(m·K) | 15–18 |
| 热膨胀系数 | K⁻¹ | 6.29×10⁻⁶ |
| 弹性模量 | GPa | 291 |
| 电阻率 | Ω·cm | 1×10⁻⁵ |
PVT 法碳化硅单晶生长关键组件、GaN 晶圆托、导流圆环、MOCVD 外延盘热场关键组件硅单晶晶托。
山东省禹城市南环东路88号
