半导体设备绝缘件:用作刻蚀、沉积设备的绝缘环、支撑件,实现高压工艺下的可靠绝缘与防打火。
高温炉管结构件:作为扩散炉、氧化炉的炉管支撑座与热电偶保护管,在 1000℃+ 环境中稳定工作。
晶圆承载与定位件:定制氧化铝环 / 盘作为晶圆夹具,在光刻、清洗工序中提供高精度定位与低划伤风险。
粉体煅烧工装件:定制舟皿、托盘,用于高纯半导体粉体的高温煅烧与烧结,避免杂质污染。
等离子工艺耐腐蚀件:在刻蚀设备中抵御等离子体侵蚀,减少颗粒产生,保障工艺洁净度。
测试工装定位件:作为半导体测试设备的定位块、探针台配件,提供稳定支撑与绝缘保护。
山东省禹城市南环东路88号